Tibco News, June 30, awọn Dutch ijoba ti oniṣowo awọn titun ilana lori awọn okeere Iṣakoso ti semikondokito ẹrọ, diẹ ninu awọn media tumo yi bi awọn iṣakoso ti photolithography lodi si China lẹẹkansi escalated si gbogbo DUV.Ni otitọ, awọn ilana iṣakoso okeere tuntun wọnyi ṣe ifọkansi 45nm ti ilọsiwaju ati awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ chirún, pẹlu ohun elo idasile atomiki ALD-ti-ti-aworan, ohun elo idagbasoke epitaxial, ohun elo ifisilẹ pilasima ati awọn eto lithography immersion, ati imọ-ẹrọ, sọfitiwia ti a lo. lati lo ati idagbasoke iru ẹrọ to ti ni ilọsiwaju.
Ninu alaye kan si Tibco, ASML tẹnumọ pe awọn ilana iṣakoso okeere tuntun ti ijọba Dutch nikan bo diẹ ninu awọn awoṣe DUV tuntun, pẹlu TWINSCAN NXT: 2000i ati awọn eto lithography immersion ti o tẹle.EUV lithography ti ni ihamọ tẹlẹ, ati gbigbe awọn ọna ṣiṣe miiran ko ni iṣakoso nipasẹ ijọba Dutch.Gẹgẹbi alaye oju opo wẹẹbu osise ASML, eto lithography immersion DUV, pẹlu: TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di ẹrọ lithography mẹta, iwọnyi le ṣe sisẹ wafer ilana 38nm ~ 45nm.
Ni afikun, awọn ẹrọ lithography DUV ti o gbẹ ti o lagbara lati ṣiṣẹ wafer loke 45nm, gẹgẹbi ilana 65nm ~ 220nm, gẹgẹbi TWINSCAN XT: 400L, XT: 1460K, NXT: 870, ati bẹbẹ lọ, ko si ninu atokọ awọn ijẹniniya Dutch.
Atokọ iṣakoso Dutch, gẹgẹbi itumọ nipasẹ Tibco, jẹ bi atẹle:
Ilana MinBuza.2023.15246-27 ti a gbejade nipasẹ Minisita ti Iṣowo Ajeji ati Ifowosowopo Idagbasoke ti Fiorino pese fun awọn ibeere iwe-aṣẹ fun okeere ti awọn ohun elo iṣelọpọ ilọsiwaju fun awọn semikondokito ti a ko sọ tẹlẹ ninu Annex I ti Ilana No. ẹrọ iṣelọpọ)
Abala 2: Ilana yii ṣe idiwọ gbigbejade ohun elo iṣelọpọ semikondokito to ti ni ilọsiwaju lati Netherlands laisi igbanilaaye ti Minisita.
Abala 3:
1. Ohun elo fun igbanilaaye ti a mẹnuba ninu Abala 2 yoo jẹ nipasẹ olutaja ati fi silẹ si abanirojọ.
2. Ni eyikeyi idiyele, ohun elo naa yoo ni:
a) orukọ ati adirẹsi ti awọn atajasita;
b) Orukọ ati adirẹsi ti olugba ati olumulo ipari ti ẹrọ iṣelọpọ semikondokito ti ilọsiwaju;
c) Orukọ ati adirẹsi ti olugba ati olumulo ipari ti ẹrọ iṣelọpọ semikondokito ti ilọsiwaju.
3, ni eyikeyi nla, awọn abanirojọ ni eto lati beere atajasita lati pese awọn guide lori okeere, ati ki o kan gbólóhùn lori opin lilo.
Abala 4:
Iwe-aṣẹ ti a sapejuwe ninu Abala 2, le jẹ koko ọrọ si awọn ipo ati awọn ipese.
Ifunni iwe-aṣẹ ti a ṣalaye ninu Abala 2 le wa pẹlu awọn afijẹẹri.
Abala V:
Awọn iwe-aṣẹ ti a mẹnuba ninu Abala II le jẹ fagile ni awọn iṣẹlẹ wọnyi:
a) Iwe-aṣẹ ti fun ni da lori alaye ti ko tọ tabi ti ko pe;
b) Awọn ofin, awọn ipo ati awọn ihamọ ti iwe-aṣẹ ko tẹle;
c) Fun awọn idi ti ajeji orilẹ-ede ati eto imulo aabo.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-02-2023