Awọn paati Itanna IC Chips Integrated Circuits IC TPS74701QDRCRQ1 aaye kan ra

Ibasepo laarin wafers ati awọn eerun

Akopọ ti wafers

Lati loye ibatan laarin awọn wafers ati awọn eerun igi, atẹle jẹ awotẹlẹ ti awọn eroja pataki ti wafer ati imọ chirún.

(i) Kini wafer

Wafers jẹ awọn ohun alumọni ohun alumọni ti a lo ninu iṣelọpọ awọn iyika ohun alumọni semikondokito, eyiti a pe ni wafers nitori apẹrẹ ipin wọn;wọn le ṣe ilọsiwaju lori awọn wafers ohun alumọni lati ṣe ọpọlọpọ awọn paati iyika ati di awọn ọja iyika ti a ṣepọ pẹlu awọn iṣẹ itanna kan pato.Awọn ohun elo aise fun wafers jẹ silikoni, ati pe ipese silikoni oloro ti ko pari wa lori ilẹ ti erupẹ ilẹ.Ohun elo ohun alumọni silikoni ti wa ni isọdọtun ninu awọn ileru arc ina, chlorinated pẹlu hydrochloric acid ati distilled lati ṣe agbejade polysilicon mimọ giga pẹlu mimọ ti 99.99999999999%.

(ii) Awọn ohun elo aise ipilẹ fun awọn wafers

Ohun alumọni ti wa ni ti refaini lati kuotisi iyanrin ati wafers ti wa ni wẹ (99.999%) lati silikoni ano, eyi ti o ti wa ni ṣe sinu ohun alumọni ọpá ti o di ohun elo fun quartz semikondokito fun ese iyika.

(iii) Wafer ilana iṣelọpọ

Wafers jẹ ohun elo ipilẹ fun iṣelọpọ awọn eerun semikondokito.Ohun elo aise pataki julọ fun awọn iyika isọpọ semikondokito jẹ ohun alumọni ati nitorinaa ni ibamu si awọn wafer silikoni.

Ohun alumọni ni opolopo ri ni iseda ni awọn fọọmu ti silicates tabi silikoni oloro ni apata ati okuta wẹwẹ.Iṣelọpọ ti awọn wafer ohun alumọni ni a le ṣe akopọ ni awọn igbesẹ ipilẹ mẹta: isọdọtun ohun alumọni ati isọdọmọ, idagbasoke ohun alumọni mọto kan, ati dida wafer.

Ohun akọkọ ni isọdọtun ohun alumọni, nibiti a ti fi ohun elo aise ti iyanrin ati okuta wẹwẹ sinu ileru ina mọnamọna ni iwọn otutu ti iwọn 2000 °C ati niwaju orisun erogba.Ni awọn iwọn otutu ti o ga, erogba ati ohun alumọni silikoni ninu iyanrin ati okuta wẹwẹ gba ifa kemikali (erogba darapọ pẹlu atẹgun, fifi ohun alumọni silẹ) lati gba ohun alumọni mimọ pẹlu mimọ ti o fẹrẹ to 98%, ti a tun mọ ni silikoni ipele irin, eyiti kii ṣe mimọ to fun awọn ẹrọ microelectronic nitori awọn ohun-ini itanna ti awọn ohun elo semikondokito jẹ itara pupọ si ifọkansi ti awọn aimọ.Ohun alumọni ite Metallurgical nitorina ni a sọ di mimọ siwaju sii: ohun alumọni ti o ni irin ti o fọ ni a tẹriba si iṣesi chlorination pẹlu gaseous hydrogen kiloraidi lati ṣe agbejade silane olomi, eyiti o jẹ distilled ati dinku kemikali nipasẹ ilana ti o mu ohun alumọni polycrystalline mimọ-giga pẹlu mimọ ti 99.999999999999 %, eyiti o di silikoni ipele itanna.

Nigbamii ti idagba silikoni monocrystalline wa, ọna ti o wọpọ julọ ti a npe ni fifa taara (ọna CZ).Gẹgẹbi a ṣe han ninu aworan atọka ni isalẹ, polysilicon mimọ-giga ni a gbe sinu kuotisi kuotisi kan ati ki o gbona nigbagbogbo pẹlu ẹrọ ti ngbona lẹẹdi kan ti o yika ita, titọju iwọn otutu ni isunmọ 1400 °C.Gaasi ti o wa ninu ileru nigbagbogbo jẹ inert, gbigba polysilicon lati yo laisi ṣiṣẹda awọn aati kemikali ti aifẹ.Lati ṣe awọn kirisita ẹyọkan, iṣalaye ti awọn kirisita tun wa ni iṣakoso: a ti yi crucible pẹlu polysilicon yo, a ti fi eso kristali kan sinu rẹ, ati ọpa iyaworan ni a gbe ni ọna idakeji lakoko ti o rọra ati ni inaro nfa si oke lati ohun alumọni yo.Awọn polysilicon yo o duro si isalẹ ti irugbin kristali ati ki o dagba si oke ni awọn itọsọna ti awọn lattice akanṣe ti awọn irugbin gara.